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UVキュアリングシステム(紫外線硬化装置・UV硬化装置)





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UVキュアリングシステム(紫外線硬化装置・UV硬化装置) 照射装置一覧表
機種名 UVF-204S UVF-205S UVF-210S UVF-352S UVF-502S
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タイプ 超小型・軽量 インテリジェント 2ヵ所交互照射 超ハイパワー 多分岐・露光対応
光学系 A型 B型 A型 B型 B型
照射波長 Aタイプ(365nm標準)
Bタイプ(254nm増強)
照射ユニット ライトガイドユニット
集光レンズ
直射レンズユニット
均一露光ユニット
オプション 熱線カットフィルター
スペアーランプ
波長選択フィルター
○印は装着可能、−印は装着不可




 製品総合カタログはこちら (約6MB)





UV強度モニター  (生産終了終了致しました)
機種名 UVM-SP UVM-SP-J UVM-SP-JW UVM-MP
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タイプ シングルポイント シングルポイント mW/cm²・mJ/cm²測定 マルチポイント
測定表示 UV強度 UV積算光量 UV強度/積算光量 UV強度
測定単位 mW/cm² mJ/cm² mW/cu⇔mJ/cm² mW/cm²
測定範囲 0〜1990 0〜1990 0〜9990 0〜1990
標準測定波長 365または254nm
最大測定
ポイント
1ポイント 1ポイント 1ポイント 6ポイント
測定精度 ±(5%rdg+1dgt)
通信機能 RS-232C方式 BCD入出力信号 BCD入出力信号 RS-232C方式
センサーヘッド 専用石英センサーファイバー使用(SLG-1001)
センサーアンプ
ボックス
UVM-SB254、365 UVM-SB254、365 UVM-SB254JW、365JW UVM-SB254、365
電源入力 AC100V 50/60Hz 15W AC100V 50/60Hz 25W AC100V 50/60Hz 20W
オプション 各種バンドパスフィルター(220〜1000nmまで製作可能)
受光レセプタクル(SRV型、SRH型、SRC型、SR90型))


その他  (生産終了終了致しました
品名 センサーアンプボックス 石英センサーファイバーヘッド UVパワーメーター
機種 UVM-SB SLG-1001 UVP-365
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微細な部品のUV接着に使用したいのですが、可能でしょうか?
弊社のUVFシリーズで多岐にわたるファイバーと各種レンズで対応可能です。ご相談ください。


実験用サンプルに特定波長域の光を均一に与えたいのですが、可能でしょうか?
UVFシリーズ(微小径、高エネルギー)、
UVEシリーズ(80〜300oΦ、均一照射光)に特定波長
透過フィルター(Band Pass Filter)の組み合わせにて可能です。
お客様の必要UVエネルギー(mj/cu)と照射径により、ランプの出力を弊社で選定致します。


複数台のUV装置の紫外線エネルギーを監視、管理したいのですが・・・・
UVMシリーズUVM−MPにて対応可です。
1台で最大UV装置6台の紫外線強度(mW/cu)を監視、モニタリング致します。
また、中継アンプボックス(UVM−SB)を取り付けることにより測定器とUV装置の距離を
最大10mまで離して操作することができます。


シリコンウエハなどの微細加工の露光装置は対応できますか?
各メーカーのマスクアライナー装置用光源としても実績がございます。(UVEシリーズ)アライナー装置メーカーとタイアップして装置一式のご提案も致します。最近のナノインプリントリソグラフィの光インプリントにも対応しています。ご相談ください。





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